الکترون‌های تصویرساز در میکروسکوپ الکترونی روبشی

نوع مقاله: مقاله علمی

نویسندگان

1 آزمایشگاه مرکزی و پژوهشکده لیزر و پلاسما دانشگاه شهید بهشتی، تهران، ایران.

2 آزمایشگاه مرکزی، دانشگاه شهید بهشتی، تهران، ایران.

چکیده

تلاش بشر در به دست آوردن تکنیکی برای رویت اجسام ریز ابعاد از ابتدا با تکیه بر انرژی فوتونی بازه نور مرئی استوار بود اما به دلیل محدودیت طول موج نور مرئی این تلاش بشر در رویت ابعاد زیر میکرومتر ناکام ماند و ذهن خلاق وی را بر آن گماشت تا از جهت ساخت ادوات میکروسکوپی دست به دامان منابع انرژی پر توان‌تر چون منبع الکترونی شود و چاشنی ساخت میکروسکوپ‌های الکترونی امروزی را هر چه بیش‌تر شعله‌ور سازد.
هنگامی که باریکه الکترونی به سطح نمونه تابش می‌کند، بین سطح و الکترون‌ها برهم کنش رخ داده و نتیجه حاصله ساطع شدن پرتوهای الکترونی متفاوتی با شاخصه‌های اطلاعاتی گسترده‌ای از سطح و اجزا تشکیل دهنده نمونه می‌باشند. الکترون‌های مذکور معیاری از شناسایی و برچسب زنی سطح مواد می‌باشند که توسط سیستم پیچیده آشکارسازها، تبدیل  به تصویر و اطلاعات مفید دیگری در پردازنده میکروسکوپ الکترونی می‌شوند.
اصول فیزیکی تصویرسازی در میکروسکوپ‌های الکترونی در این گزارش مورد بررسی قرار گرفته شده است. به این منظور پس از توصیف بزرگنمایی و عمق روشنایی در میکروسکوپ‌ها، انواع الکترون‌های اصلی ساطع شده از نمونه در اثر برخورد الکترون‌های منبع الکترونی همانند الکترون ثانویه و الکترون‌های بازپراکننده مورد شناسایی قرار می‌گیرند.

کلیدواژه‌ها