طیف‌سنجی پراکندگی انرژی پرتو ایکس (EDS)

نوع مقاله: مقاله علمی

نویسندگان

1 کارشناس مسئول مجتمع آزمایشگاهی مرکزی، شهرک علمی و تحقیقاتی اصفهان.

2 کارشناس آزمایشگاه مواد، شهرک علمی و تحقیقاتی اصفهان.

چکیده

شناسایی فاز‌های موجود در ریز‌ساختار ماده از طریق ترکیب شیمیایی، نقش به‌سزایی در شناخت و تعیین فاز‌های مجهول ایفا می‌کند. طیف‌سنجی پراکندگی انرژی پرتو ایکس (EDS) برای تجزیه و تحلیل ساختاری و آنالیز عناصر موجود در نمونه به کار می‌‌رود و با نصب آن بر روی میکروسکوپ‌های الکترونی می‌توان با مطالعه پرتو‌هاى بازگشتى از نمونه و تعیین پرتو ایکس مشخصه هر عنصر، با استفاده از قدرت تفکیک و قابلیت بزرگنمایى مختلف، آنالیز کیفى و کمى را بر روی طیف وسیعی از نمونه‌ها انجام داد. در این مقاله ضمن توضیح نحوه عملکرد و معرفی بخش‌های مختلف سیستم‌های EDS، مزایا و معایب این روش به طور کامل شرح داده شده است.

کلیدواژه‌ها