میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscope): اصول عملکرد

نوع مقاله: مقاله علمی

نویسندگان

1 آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید بهشتی و پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهید بهشتی

2 آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید بهشتی

چکیده

امروزه با پیشرفت‌های حاصل شده در علم سطح و ساختارهای نانومتری، لزوم اطلاع در مورد چگونگی عملکرد میکروسکوپ‌های الکترونی بیش‌تر از گذشته نمود پیدا کرده است. به همین دلیل در این گزارش، گریزی به اجزاء سازنده میکروسکوپ‌های الکترونی زدیم و اصول عملکرد هر کدام از این اجزاء را از مرحله تولید باریکه الکترونی تا تشکیل تصویر با کیفیت به تفضیل توضیح داده‌ایم.

کلیدواژه‌ها